No.1007 2009 高精度気体軸受主軸の開発 |
カテゴリー | 論文 |
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筆者 | 研究開発センター 機械システム研究部 棚瀬良太 研究開発センター FP 研究部 大坪和義 研究開発センター 機械システム研究部 杉本 太 |
要旨 | We have developed a high-precision air bearing spindle capable of reducing spindle run-out in the axial direction to a few nanometers. Regarding radial bearings, changing the conventional structure has improved stiffness, and regarding axial bearings, an actuator was added to dampen axial-direction vibrations and decrease axial runout. A spindle incorporating these radial and axial bearings was designed, and characteristics were confirmed by numerical analysis. Furthermore, a prototype was manufactured, and performance was validated through experiments. Performance was shown to be superior to that of the conventional spindle. |
キーワード | air bearing spindle, axial run-out, actuator, control, bearing stiffness, machine tool |
関連リンク | 平野 稔, 村上敏夫, 阿部守年:超精密加工技術の開発, 豊田工機技報, Vol. 45, No. 3(2005)1. |
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