No.1008 2010 DLC膜の成膜技術とその応用 |
| カテゴリー | 資料 |
|---|---|
| 筆者 | 研究開発センター 材料技術研究部 工学博士 鈴木雅裕 研究開発センター 材料技術研究部 山川和芳 研究開発センター 材料技術研究部 工学博士 齊藤利幸 |
| 要旨 | Diamond-Like Carbon (DLC) films possess good properties such as low friction, high wear resistance, high hardness, smooth surfaces, and chemical stability. DLC films have been used widely in industrial applications as protective and lubricating films for sliding parts. However, the properties of DLC films are known to depend upon the deposition methods and conditions. The JTEKT Group supplies DLC films produced by the plasma enhanced chemical vapor deposition (PE-CVD) method, which has the advantage of making it possible to deposit on threedimensional surfaces. This report introduces the deposition methods, properties and some application examples of DLC films. |
| キーワード | diamond-like carbon (DLC), chemical vapor deposition (CVD), deposition method, application |
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JTEKT ENGINEERING JOURNAL
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